等離子體是氣體分子在真空☁☁◕•、放電等特殊場合下產生的物質☁·✘☁₪。等離子清洗/刻蝕產生等離子體的真空等離子清洗機是在密封容器中設定兩個電極形成電磁場◕·╃▩╃，用真空泵實現一定的真空度◕·╃▩╃，隨著氣體越來越稀薄◕·╃▩╃，分子間距及分子或離子的自由運動距離也越來越長◕·╃▩╃，受磁場作用◕·╃▩╃，發生碰撞而形成等離子體◕·╃▩╃，同時會發生輝光☁·✘☁₪。等離子體在電磁場內空間運動◕·╃▩╃，並轟擊被處理物體表面◕·╃▩╃，從而達到表面處理☁☁◕•、清洗和刻蝕的效果☁·✘☁₪。
真空等離子清洗機的清洗技術優勢╃↟：
一☁☁◕•、真空等離子清洗機的清洗物件經等離子清洗之後是乾燥的◕·╃▩╃，不需要再經乾燥處理即可送往下一道工序☁·✘☁₪。可以提高整個工藝流水線的處理效率；
二☁☁◕•、真空等離子清洗機的清洗技術使得使用者可以遠離有害溶劑對人體的傷害◕·╃▩╃，同時也避免了溼法清洗中容易洗壞清洗物件的問題；
三☁☁◕•、真空等離子清洗機的清洗避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑◕·╃▩╃，這樣清洗後不會產生有害汙染物◕·╃▩╃，因此這種清洗方法屬於環保的綠色清洗方法☁·✘☁₪。這在全球高度關注環保的情況下越發顯出它的重要性；
四☁☁◕•、採用無線電波範圍的高頻產生的等離子體與鐳射等直射光線不同☁·✘☁₪。等離子體的方向性不強◕·╃▩╃，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務◕·╃▩╃，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀☁·✘☁₪。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果甚至更好；
五☁☁◕•、使用真空等離子清洗機的清洗技術◕·╃▩╃，避免了對清洗液的運輸☁☁◕•、儲存☁☁◕•、排放等處理措施◕·╃▩╃，所以生產場地很容易保持清潔衛生；
六☁☁◕•、真空等離子清洗機的清洗技術可以不分處理物件◕·╃▩╃，它可以處理各種各樣的材質◕·╃▩╃，無論是金屬☁☁◕•、半導體☁☁◕•、氧化物◕·╃▩╃，還是高分子材料（如聚丙烯☁☁◕•、聚氯乙烯☁☁◕•、聚四氟乙烯☁☁◕•、聚醯亞胺☁☁◕•、聚酯☁☁◕•、環氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理☁·✘☁₪。因此特別適合於不耐熱以及不耐溶劑的材質☁·✘☁₪。而且還可以有選擇地對材料的整體☁☁◕•、區域性或複雜結構進行部分清洗；
七☁☁◕•、在真空等離子清洗機的清洗技術完成清洗去汙的同時◕·╃▩╃，還可以改善材料本身的表面性能☁·✘☁₪。如提高表面的潤溼效能☁☁◕•、改善膜的黏著力等◕·╃▩╃，這在許多應用中都是非常重要的☁·✘☁₪。
