Pluto-MD(8L)小型等離子去膠機

1. 桌面型₪₪，普通實驗臺即可安置☁·✘。操作簡便上手快₪╃◕▩╃、使用成本極低₪╃◕▩╃、易於維護☁·✘。1

2.適合於4~6寸矽片及相同面積去膠₪₪，可選配矽片專用托盤☁·✘。

3.內建雙層氣浴電極₪₪，有效提高畫質洗效率☁·✘。配有節流閥₪₪，防止真空泵油霧迴流☁·✘。可選配耐用電極₪₪，降低長時間使用後的腔體汙染☁·✘。

4.配置200W/13.56MHz等離子發生器☁·✘。兼顧物理作用和化學作用☁·✘。

5.具備前後吹掃功能₪₪，保證樣品處理潔淨度₪₪，可配置獨立吹掃氣路☁·✘。

6.可選配電極間距可調₪₪，對各種幾何形狀₪╃◕▩╃、表面粗糙程度各異的金屬₪╃◕▩╃、陶瓷₪╃◕▩╃、玻璃₪╃◕▩╃、矽片₪╃◕▩╃、塑膠等物件表面進行超清洗和表面改性☁·✘。